Cov Txheej Txheem Kev Ua Haujlwm Ntawm Cov Pob Txha Conduction Sensor Chip.

Kev siv cov ntsiab lus:

3. Nyob rau hauv view ntawm qhov no, lub embodiments ntawm lub tam sim no technology aims muab ib tug pob txha conduction sensor nti los daws qhov teeb meem ntawm unstable rhiab heev ntawm cov pob txha conduction sensor nti nyob rau hauv lub ua ntej kos duab.

4. Lub tshuab tam sim no muab cov pob txha conduction sensor nti, muaj xws li: lub vibrating membrane; ib tug loj thaiv nyob rau ntawm ib sab ntawm lub vibrating membrane; thiab cov qauv nres rau kev txwv qhov kev vibration amplitude ntawm qhov loj thaiv nyob rau hauv ib qho kev taw qhia mus rau lub vibrating membrane. Cov qauv nres yog siv los txwv qhov amplitude ntawm kab rov tav kev vibration ntawm pawg loj, yog li txo qhov cuam tshuam ntawm txoj kab rov tav kev vibration mus rau ntsug kev co, kom ntseeg tau tias txoj kev vibration ntsug ntawm cov khoom thaiv ntau ruaj khov, thiab ntxiv kev txhim kho qhov rhiab heev. uniformity ntawm daim tawv nqaij.

5. Nyob rau hauv ib tug embodiment, lub stopper qauv muaj xws li ib tug coplanar thawj stopper txheej thiab ib tug thib ob stopper txheej, thawj stopper txheej yog nyob nruab nrab ntawm lub movable cheeb tsam thiab cov huab hwm coj, thiab lub thib ob stopper txheej thiab lub taag cheeb tsam superimposed; muaj thawj qhov sib txawv ntawm thawj txheej nres thiab thib ob nres txheej.

6. Nyob rau hauv ib tug embodiment, cov ntaub ntawv ntawm cov thawj stopper txheej thiab thib ob stopper txheej yog ob leeg polysilicon.

7. Nyob rau hauv ib tug embodiment, ib tug sacrificial txheej kuj muaj, thiab lub sacrificial txheej muaj xws li ib tug central cheeb tsam teem nyob rau hauv lub ncua sij hawm thiab ib tug ntug cheeb tsam nyob ib ncig ntawm lub hauv paus cheeb tsam; thaj chaw nruab nrab yog nyob nruab nrab ntawm thaj chaw txav tau thiab thawj txheej nres, thiab thaj chaw ntug yog nyob nruab nrab ntawm thaj chaw ruaj khov thiab thaj chaw ntug. Nruab nrab ntawm qhov thib ob nres txheej; lub hauv paus cheeb tsam thiab ntug cheeb tsam muaj ib lub sij hawm thib ob, lub sij hawm thib ob yog ntau dua li thawj ntu, thiab sib txuas lus nrog thawj ntu.

8. Nyob rau hauv ib tug embodiment, nws kuj muaj xws li ib tug kev txhawb nqa qauv; cov qauv kev txhawb nqa suav nrog thawj kab noj hniav, thiab thawj kab noj hniav suav nrog kev qhib; qhov loj thaiv yog nyob rau hauv thawj kab noj hniav, qhov chaw txav ntawm lub vibrating membrane npog qhov qhib, thiab qhov chaw ruaj khov yog txuas nrog kev txhawb nqa. Cov qauv kev sib txuas.

9. Nyob rau hauv ib lub embodiment, qhov piv ntawm thawj qhov sib nrug mus rau qhov ntev ntawm thawj kab noj hniav yog ntau tshaj xoom thiab tsawg dua los yog sib npaug rau 1/10 nyob rau hauv ib seem dhau los ntawm qhov nruab nrab ntawm cov pov thawj-mas.

10. Nyob rau hauv ib tug embodiment, lub nres qauv muaj xws li ib tug thawj kab noj hniav, lub loj thaiv nyob rau hauv thawj kab noj hniav, thiab sab phab ntsa ntawm lub loj thaiv thiab phab ntsa ntawm thawj kab noj hniav yog spaced sib nrug.

11. Nyob rau hauv ib lub embodiment, qhov piv ntawm qhov tsawg kawg nkaus lub sij hawm nruab nrab ntawm lub sab phab ntsa ntawm cov pawg thiab cov phab ntsa ntawm cov thawj kab noj hniav mus rau qhov ntev ntawm thawj kab noj hniav yog ntau tshaj xoom thiab tsawg tshaj li los yog sib npaug rau 1/10.

12. Nyob rau hauv ib lub embodiment, cov pov thawj-mas suav nrog ib feem ntawm lub cev thiab yam tsawg kawg yog ib tug protrusion ntawm ib tug sidewall ntawm lub cev.

13. Nyob rau hauv ib lub embodiment, cov pov thawj-mas suav nrog ib tug thib ob kab noj hniav.

14. Nyob rau hauv ib tug embodiment, thawj kab noj hniav muaj xws li ib tug qhib; lub diaphragm suav nrog thaj chaw txav tau thiab thaj chaw ntug nyob ib puag ncig thaj chaw txav tau; qhov chaw txav tau npog qhov qhib, thiab qhov chaw ruaj khov yog txuas nrog cov qauv nres.

15. Nyob rau hauv ib tug embodiment, nws kuj muaj xws li ib tug hauv qab phaj nyob rau sab ntawm lub loj thaiv kom deb ntawm lub vibrating membrane; lub stopper qauv muaj xws li tsawg kawg yog ib tug protrusion teem rau saum npoo ntawm lub phaj hauv qab nyob ze ntawm lub loj thaiv, thiab qhov kawg ntawm txhua protrusion yog lub nto hla lub loj; nyob rau hauv ib qho kev taw qhia parallel mus rau lub diaphragm, muaj ib qho chaw nruab nrab ntawm lub sidewall ntawm txhua protrusion thiab sidewall ntawm lub loj.

16. Nyob rau hauv ib lub embodiment, cov khoom tsa muaj xws li ib qho ntawm silicon, silicon oxide, thiab kua nplaum.

Tiv tauj peb:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894